電子束蒸發(fā)源是利用熱陰極發(fā)射電子在電場作用下成為高能量密度的電子束直接轟擊到鍍料上。動能轉(zhuǎn)化為熱能，使鍍料加熱汽化，完成蒸發(fā)鍍膜。

　　真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染，消除空間碰撞，提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。電子束鍍膜機為了提高鍍層厚度的均勻性，鍍在真空室中夾有行星機構(gòu)或旋轉(zhuǎn)運動的裝置，如一個行星的運動模式，運動模式的膜均勻性好，鍍層的臺階覆蓋性能好，承載能力大，可充分利用有效空間的真空鍍膜室，是一個運動的常用模式。排氣系統(tǒng)一般由機械泵，擴散泵，管道和閥門組成。為了提高泵的流量，可以添加增壓器之間的機械泵和擴散泵。

　　因此，不僅在較短的時間內(nèi)低壓力以保證快速的工作循環(huán)的排氣系統(tǒng)，還需要確保氣體的蒸發(fā)源和蒸鍍工件表面產(chǎn)生快速的去除。

　　電子束鍍膜機是專業(yè)在塑料表面進行蒸發(fā)鍍鋁的特別設備，它成膜速率快，膜層牢固，色澤鮮亮，膜層不易受污染，電鍍設備可獲得致密性好、純度高、膜厚均勻的膜層，不產(chǎn)生廢液、廢水，可避免對環(huán)境的污染，是大規(guī)模生產(chǎn)的理想設備。設備應用廣泛，主要有汽車反光網(wǎng)、工藝品、首飾、鞋帽、鐘表、燈具、裝飾等行業(yè)。

　　電子束鍍膜機的優(yōu)點：

　　1、電子束加熱比電阻加熱具有更高的通量密度，可以蒸發(fā)高熔點材料，如W、Mo、Al2O3等，并可得到較高的蒸發(fā)速率；

　　2、被蒸發(fā)材料置于水冷銅坩堝內(nèi)，電子束鍍膜機可避免坩堝材料污染，可制備高純薄膜；

　　3、電子束蒸發(fā)粒子動能大，有利于獲得致密、結(jié)合力好的膜層。